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從三個敏感選項中選擇，實現精確的高阻抗和低電流測量。5½ 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 200TΩ 的電壓測量，以及低至 10fC 的電荷測量。6½ 位 6430 型亞 fA 遠程 SourceMeter SMU 儀器能夠以 1aA 的靈敏度測量電流。其噪聲低、偏差小，非常適用于研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學應用。